logosolinc 機械手38-3 配件

LPA系列

創新、高性能、兼容1級

獨特的一體式設計消除了外部控制器

以及互連電纜，同時保持插入式

兼容性

掃描電子設備、運動控制器和電源

包含在行業標準足跡內

由超低慣性無刷電機驅動，

即時響應

能夠檢測的優良掃描電子設備

透明、半透明和不透明物體

無需在不同尺寸之間進行機械重新定位

與支持晶圓搬運機器人的無縫接口

所有晶片尺寸從45mm到480mm，以及各自的

方形基板的尺寸

Logosol控制軟件具有一套全面的

啟用與的兼容性和接口的命令

多種半導體平臺

快速對齊周期有助于實現

最大系統吞吐量

既可作為獨立設備使用，也可作為嵌入式設備使用

與晶圓搬運機器人協同工作的設備

保留選項包括真空、非真空和

邊緣處理

LPA25-1E

創新、高性能、一體化設計消除了

外部控制器和互連電纜，同時進行維護

兼容性下降

由超低慣性無刷電機驅動，平穩、瞬時

回應

優良的掃描電子設備能夠檢測透明，

半透明和不透明物體，無機械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運動控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實現與的兼容性和接口

多種半導體平臺

典型的對齊周期時間小于四秒，有助于

實現最大系統吞吐量

logosolinc 機械手38-3 配件